桌面臺式電鏡是一種體積小巧、操作簡便的電子顯微成像設備，廣泛應用于材料科學、生物、地質、電子元器件及教學科研等領域。相比傳統大型電鏡，
桌面臺式電鏡無需復雜的真空系統和專業操作環境，可在普通實驗室中實現納米級表面形貌觀察。其性能雖略低于某些電鏡，但憑借高性價比和易用性，已成為科研與質檢的得力工具。整機由多個核心部件協同工作，各具不同功能與技術特點。
1、電子光學系統
核心部件包括電子槍和電磁透鏡。電子槍通常采用鎢燈絲或場發射（部分型號）作為電子源，發射電子束。臺式電鏡多使用低真空或環境模式，電子槍結構簡化，壽命較長。電磁透鏡（物鏡、聚光鏡）用于聚焦電子束，控制束斑大小，影響分辨率（通常可達10-30nm）。
2、真空系統
臺式電鏡配備小型化無油真空泵（如渦旋泵或膜片泵），可在5-10分鐘內將樣品室抽至工作真空（10-50Pa），無需液氮或復雜維護。部分型號支持低真空模式，可直接觀察非導電樣品，減少噴金處理。
3、樣品室與載物臺
樣品室為密封腔體，體積小，便于快速抽真空。內置手動或電動三維載物臺，可精確調節樣品X、Y、Z方向位置，部分型號支持傾斜或旋轉，便于多角度觀察。載物臺行程通常為幾厘米，滿足常規樣品掃描需求。
4、探測器系統
用于收集電子信號并轉換為圖像。主要探測器包括：
二次電子探測器（SED）：捕捉樣品表面發射的二次電子，提供高分辨率表面形貌圖像，是主要成像模式。
背散射電子探測器（BSED）：檢測高能背散射電子，對原子序數敏感，可區分材料成分差異。
部分型號集成能譜儀（EDS），實現微區元素分析，提升檢測功能。
5、圖像采集與控制系統
通過計算機或觸摸屏控制電鏡運行。軟件界面直觀，可實時調節加速電壓（通常5-30kV）、束流、工作距離、對比度與亮度。圖像可即時保存、標注、測量（如粒徑、距離），支持多種格式導出。
6、冷卻與電源系統
采用風冷或自然散熱設計，無需外接冷卻水。電源集成于主機，使用普通220V交流電，安裝便捷。
7、安全防護裝置
配備電磁屏蔽、高壓聯鎖和緊急停機功能，確保操作安全。艙門關閉后自動鎖定，防止輻射泄漏。
